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åœ?04ä¸é”ˆé’¢è¡¨é¢ç›´å†™æ‰«ææ‰“标刻蚀图案

¾~–辑   é‡åº†åˆåˆ»   å‘表äº?022-08-23

ä¸ÞZº†æŠ‘åˆ¶æ‚æ•£è…蚀åQŒå®žçް微¾l†ç”µ(sh¨´)解加工,本文采用光纤‹È€å…‰è¡¨é¢å·¥½E‹æŠ€æœ¯ï¼Œåœ?04ä¸é”ˆé’¢è¡¨é¢ç›´å†™æ‰«ææ‰“标刻蚀图案åQŒè¿›è¡Œè¡¨é¢æ”¹æ€§ï¼Œç”Ÿæˆå…ähœ‰è€è…èš€æ€§ä¿æŠ¤æŽ©è†œï¼Œ¾l“åˆå¾®ç»†ç”?sh¨´)解加工åQŒç”Ÿæˆå¤æ‚å¾®¾l†ç»“æž?

ç ”å‘的光¾U¤æ¿€å…‰æŽ©è†œå¾®¾l†ç”µ(sh¨´)解加工装¾|®æ˜¯ž®†å…‰¾U¤æ¿€å…‰è¡¨é¢æ”¹æ€§æ¨¡å—与微细ç”?sh¨´)解加工模å—安装在åŒä¸€åˆ†èöLçŽ‡äØ“(f¨´)0åQ?μm的三轴进¾l™æ»‘åîC¸ŠåQŒè§£å†Ïx¿€å…‰æŽ©è†œç”µ(sh¨´)è§£å¤åˆåŠ å·¥å®šä½é—®é¢?

‹È€å…‰åˆ¶æŽ©è†œæ¨¡å—采用脉冲å¼è¾“出的光纤‹È€å…‰å™¨åQŒæŒ¯é•œå…‰å­¦æŒ¯é•œã€?

光纤‹È€å…‰å™¨è¾“出功率范围0ï½?0WåQŒæœ€ž®æ¿€å…‰å…‰æ–‘ç›´å¾„äØ“(f¨´)10μmåQŒæ¿€å…‰è¾“出频率范å›?ï½?00kHzåQŒè¾“出激光æ‡Lé•?åQ?64μmã€?

通过¾_‘Ö¯†‹È€å…‰å™¨çš„光学èšç„¦ç³»¾lŸåÅžæˆç›´å¾„很ž®çš„‹È€å…‰ç„¦ç‚¹ï¼Œ¾l过¾_‘Ö¯†ä¸‰å标工作å°ã€æŒ¯é•œèƒ½æŽ§åˆ¶‹È€å…‰ç„¦ç‚¹åœ¨å·¥äšg扫æè·¯å¾„åQŒåœ¨å·¥äšg表é¢åŠ å·¥ç›´å†™åQŒå®žçް坹工äšg表é¢åŠ çƒ­åŒºåŸŸçš„å°ºå¯¸å’Œå½¢çŠ¶ä¸¥æ ¼æŽ§åˆ¶åQŒè¿›è¡Œæ¿€å…‰è¡¨é¢æ”¹æ€§å¤„ç†ï¼Œå¯ä»¥åœ¨å·¥ä»¶ä¸Šç”Ÿæˆå…ähœ‰ç‰ÒŽ(gu¨©)®Šæ€§è´¨çš„夿‚åŞ状图案作为掩膜。由于采用的光纤‹È€å…‰åŠŸçŽ‡å°ã€è„‰å†²æ€§è¾“å‡ºï¼Œè„‰å†²å®½åº¦åªæœ‰100nsåQŒæ‰€ä»¥æ¿€å…‰æ‰«æè¿‡çš„表é¢ç†”层很薄ã€çƒ­ä½œç”¨åŒºå¾ˆž®ï¼Œç”Ÿæˆäºšå¾®¾c³çñ”æŽ©è†œä¿æŠ¤å±?